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MCV-200

半自动垂直式汞探针CV测试平台，可加载IV功能，可测试200及以下标准样品和不规则样品，适用于Si/SiC/GaN/Ga₂O₃等材料外延层和器件介质层电学参数测试。

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Coplane-200

半自动共面式汞探针CV测试平台，可测试200mm及以下标准样品和不规则样品，适用于高阻绝缘衬底上的外延材料浓度及耗尽区深度测试，以及有PN结结构的顶层外延浓度测试，SiC 离子注入结深，dose量等。

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MCV-200R

全自动垂直式汞探针CV测试平台，可加载IV功能，可测试150/200mm标准样品，适用于Si/SiC/GaN/Ga₂O₃等材料外延层和器件介质层电学参数测试。

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MCV-300R

全自动垂直式汞探针CV测试平台，可加载IV功能，可测试300mm标准样品，适用于Si/SiC/GaN/Ga₂O₃等材料外延层和器件介质层电学参数测试

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SPV测试仪

全自动表面光电压测试仪，可测试200/300mm等标准Si衬底，Si外延片扩散长度，少子寿命，Fe/Cu含量等，同时可表征器件热工艺金属沾污。

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QV/SPV测试仪

全自动非接触QV/SPV测试平台，适用于200/300mmSi基半导体，可测试衬底/外延/炉管金属沾污，介质层GOI参数， Clean/Etch/IMP/CVD/Asher等工艺残留电荷

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QV测试仪

全自动/半自动非接触式QV测试平台，可测试300mm，200mm，150mm，100mm等尺寸标准样品或非标样品，适用于SiC/GaN/Ga₂O₃等化合物半导体材料衬底/外延载流子浓度，器件栅氧质量GOI电学参数测试

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HP-200

金属硬探针式CV测试平台，可加载IV功能，可测试200mm及以下标准样品和不规则样品，适用于栅氧后具有金属pad的样品测试。可依据pad大小及数量配置不同探针类型和数量

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HP-300

金属硬探针式CV测试平台，可加载IV功能，可测试300mm及以下标准样品和不规则样品，适用于栅氧后具有金属pad的样品测试。可依据pad大小及数量配置不同探针类型和数量

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