Coplane-200
QV/SPV测试仪
QV测试仪
产品服务
Coplane-200
半自动共面式汞探针CV测试平台，可测试200mm及以下标准样品和不规则样品，适用于高阻绝缘衬底上的外延材料浓度及耗尽区深度测试，以及有PN结结构的顶层外延浓度测试，SiC 离子注入结深，dose量等。
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QV/SPV测试仪
全自动非接触QV/SPV测试平台，适用于200/300mmSi基半导体，可测试衬底/外延/炉管金属沾污，介质层GOI参数， Clean/Etch/IMP/CVD/Asher等工艺残留电荷
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QV测试仪
全自动/半自动非接触式QV测试平台，可测试300mm，200mm，150mm，100mm等尺寸标准样品或非标样品，适用于SiC/GaN/Ga₂O₃等化合物半导体材料衬底/外延载流子浓度，器件栅氧质量GOI电学参数测试
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关于我们
微著半导体科技（苏州）有限公司
微著半导体成立于2020年，公司成立起便聚焦半导体晶圆级电学量检测设备领域，深耕研发、生产、销售与服务全链条。公司始终秉持“自主创新、掌握底层核心技术”的理念，以行业技术升级需求为锚点，凭借快速响应硬件升级与软件开发诉求的能力，精准破解产业发展中的技术痛点难点，为客户打造安全可靠的测试技术方案，全力护航半导体行业高质量发展。
凭借持续的技术攻坚，微著半导体已成功打破国外长期垄断，相继攻克垂直式汞探针CV、共面式汞探针CV、非接触CV、SPV表面光电压等核心测试技术。目前，相关产品已实现稳定应用，覆盖Si、SiC、GaN、Ga₂O₃等多元材料的生长、外延工艺质量控制及器件研发等关键环节，为合作伙伴提供兼具稳定性、高效性与高性价比的测量工具，成为推动半导体检测领域自主化的重要力量。
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